立式管式電爐組(zu)成(cheng)的CVD系(xi)統設(she)備(bei)由沉積溫度控件(jian)、沉積反應室、真空控制部件(jian)和(he)氣源控制備(bei)件(jian)等部分(fen)組(zu)成(cheng)亦(yi)可根(gen)據(ju)用(yong)戶需要(yao)設(she)計生產(chan)，CVD系(xi)統除了主(zhu)要(yao)應用(yong)在(zai)碳(tan)納米(mi)材(cai)料(liao)制備(bei)行業(ye)外，現在(zai)正(zheng)在(zai)使用(yong)在(zai)許多行業(ye)，包括納米(mi)電子學、半導體、光(guang)電工程(cheng)的研發、涂(tu)料(liao)等領域 。

立式管式電爐的爐(lu)門(men)開啟自(zi)(zi)動(dong)斷(duan)(duan)電(dian)(dian)(dian)功能(neng)，使爐(lu)門(men)打(da)開后(hou)(hou)自(zi)(zi)動(dong)斷(duan)(duan)電(dian)(dian)(dian)。超溫保護(hu)功能(neng)，當溫度超過允(yun)許設定(ding)值(zhi)后(hou)(hou)，自(zi)(zi)動(dong)斷(duan)(duan)電(dian)(dian)(dian)及報警。  漏電(dian)(dian)(dian)保護(hu)功能(neng)，當爐(lu)體漏電(dian)(dian)(dian)時自(zi)(zi)動(dong)斷(duan)(duan)電(dian)(dian)(dian)。以上(shang)功能(neng)確保了使用的安全性(xing)。

CVD一、操作便捷性；

1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。

2、使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。

3、取消了復雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。

二、結構實用性;

1、1200℃立式管式電爐系列：加熱爐膛有左右兩部分組成，其中右部爐膛可整體向右翻轉110°，方便取放、

觀察實驗物料，爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成，節能50%，溫場均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。

2、 密封法蘭采用雙環密封技術，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調功能。

3、兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力，杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。

4、的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到達50℃時，排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。

三、使用安全性；

1、爐膛開啟自動斷電功能，使爐門打開后自動斷電。

2、超溫保護功能，當溫度超過允許設定值后，自動斷電及報警。

3、漏電保護功能，當爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。

四、控制智能化;

1、電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。

2、國產程序控溫系統可編輯50段程序控溫，進口程序控溫系統可編輯40段程序控溫。

3、電爐內配置有485轉換接口，可選配軟件實現與計算機相互連接。完成與單臺或多達200臺電爐的遠程控制、

實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。

五、周邊拓展性;

1、真空控制系統。通過各種真空控制系統，可以實現樣品在低、中、高真空環境下進行試驗。

2、氣體流量控制系統。通過浮子或質量流量控制器調節進氣量，以滿足用戶在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的

實驗要求。
 

 


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