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高真空擴散泵的工作原理主要分兩個部分
更新時間：2023-03-15 點擊次數：1486
高真空擴散泵是一種常用的真空泵，其主要運用于對于高真空的抽取任務，具有抽取速度快，體積小等優點。那么，它是如何工作的呢？
它(ta)的工作原理主(zhu)要分(fen)為兩個部分(fen)。
一(yi)是加熱(re)部(bu)分，也就是依靠(kao)加熱(re)器將(jiang)靶材或者坩堝內的固態物(wu)質(zhi)升溫至高溫，使其迅速揮發，形成高溫蒸汽。
二是抽(chou)氣(qi)部(bu)分，即利用泵體內的(de)擴(kuo)散(san)機構對高溫(wen)蒸汽(qi)進行抽(chou)取，通過下游系(xi)統的(de)管道將氣(qi)體排出(chu)去，達到真空效果的(de)一(yi)個過程。
在高(gao)真(zhen)空(kong)擴散泵中，加熱(re)部(bu)分(fen)的(de)作用主要是將(jiang)(jiang)靶材或者(zhe)其他固態(tai)物(wu)質進行升溫，在這(zhe)個過程中，固態(tai)物(wu)質逐漸變(bian)成氣態(tai)，再通(tong)過抽(chou)(chou)氣部(bu)分(fen)將(jiang)(jiang)其抽(chou)(chou)出，形成高(gao)速、高(gao)質量的(de)高(gao)溫氣體流(liu)。這(zhe)樣，不斷循環操作下去，就(jiu)可以逐漸將(jiang)(jiang)被(bei)抽(chou)(chou)空(kong)的(de)空(kong)間(jian)變(bian)成高(gao)真(zhen)空(kong)環境。
高(gao)真空擴散(san)泵的(de)(de)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)部(bu)分(fen)，主要是通(tong)過(guo)內部(bu)某種(zhong)特殊組織結(jie)構(gou)下的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)擴散(san)增加泵的(de)(de)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)速(su)(su)率和吞(tun)吐(tu)量(liang)。其抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)原(yuan)理是：在(zai)(zai)泵內形成(cheng)(cheng)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)流動，在(zai)(zai)其裝(zhuang)置(zhi)內形成(cheng)(cheng)高(gao)速(su)(su)氣(qi)(qi)(qi)漿，并(bing)將其中的(de)(de)分(fen)子(zi)輸送(song)到吸附(fu)表(biao)(biao)面(mian)。通(tong)過(guo)高(gao)真空環境則會在(zai)(zai)表(biao)(biao)面(mian)上(shang)發生(sheng)吸附(fu)，在(zai)(zai)高(gao)溫蒸(zheng)汽的(de)(de)作用下，吸附(fu)的(de)(de)過(guo)程將得到逐(zhu)漸解(jie)除(chu)。這里的(de)(de)能量(liang)轉(zhuan)換方式通(tong)過(guo)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)(de)擴散(san)和移動形成(cheng)(cheng)。而其抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)器(qi)結(jie)構(gou)則是合理地(di)根據上(shang)述原(yuan)理設計而來，通(tong)過(guo)抽(chou)(chou)(chou)氣(qi)(qi)(qi)器(qi)的(de)(de)擺動或旋轉(zhuan)等(deng)技術(shu)手段，可(ke)以將這些吸附(fu)在(zai)(zai)泵內表(biao)(biao)面(mian)上(shang)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)分(fen)子(zi)重(zhong)新揮發并(bing)抽(chou)(chou)(chou)出，裝(zhuang)置(zhi)出口(kou)處形成(cheng)(cheng)的(de)(de)真空環境得到維護和保持。
總之，高真(zhen)(zhen)空擴(kuo)散(san)泵通過上述加(jia)熱(re)和抽氣(qi)(qi)原理，不斷地將被抽空的(de)(de)空間內的(de)(de)氣(qi)(qi)體逐(zhu)漸排出，不斷加(jia)深真(zhen)(zhen)空度(du)，形(xing)成(cheng)了一種非常高質量的(de)(de)真(zhen)(zhen)空環境。而其依(yi)靠(kao)加(jia)熱(re)裝置和抽氣(qi)(qi)裝置相關結構相互作用，則有了更為的(de)(de)抽取效率和迅(xun)速響(xiang)應(ying)能力，也成(cheng)為各個領域的(de)(de)必(bi)裝設備。
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